Системы параметрического тестирования Keithley серии S530 с программным обеспечением KTE 7 позволяют применять чрезвычайно гибкие высокоскоростные конфигурации, которые можно наращивать по мере появления новых областей применения и изменения требований. Система S530 обеспечивает тестирование устройств напряжением до 200В, а S530-HV — напряжением до 1100 В на любом выводе с повышением производительности тестирования до 50 % по сравнению с аналогичными системами других компаний. Новым решением для KTE 7 является дополнительный модуль Testhead, обеспечивающий непосредственное соединение с зондовой станцией и использование ранее применяемых зондовых плат; калибровку на уровне системы по выводам, которая соответствует требованиям ISO-17025 и поддерживает требования автомобильного стандарта IATF-16949; а также самый простой и плавный метод перехода с устаревших систем S600 и S400 с полной корреляцией данных и повышением скорости.
| Current range | Max. Voltage | Measure | Source | ||
| resolution | accuracy | resolution | accuracy | ||
| 1 A | 200 V | 10 µA | 0.03% + 1.5 mA + 0.94 pA/V | 20 µA | 0.05% + 1.8 mA + 0.94 pA/V |
| 100 mA | 200 V | 1 µA | 0.02% + 20.0 µA + 0.94 pA/V | 2 µA | 0.03% + 30.0 µA + 0.94 pA/V |
| 20 mA | 1100 V | 100 µA | 0.04% + 1.2 µA + 0.94 pA/V | 500 nA | 0.05% + 4.0 µA + 0.94 pA/V |
| 10 mA | 200 V | 100 µA | 0.02% + 2.5 µA + 0.94 pA/V | 200 nA | 0.03% + 6.0 µA + 0.94 pA/V |
| 1 mA | 1100 V | 10 nA | 0.03% + 200.0 nA + 0.94 pA/V | 50 nA | 0.03% + 300.0 nA + 0.94 pA/V |
| 100 µA | 1100 V | 1 nA | 0.03% + 25.0 nA + 0.94 pA/V | 5 nA | 0.03% + 60.0 nA + 0.94 pA/V |
| 10 µA | 1100 V | 100 nA | 0.03% + 1.5 nA + 0.94 pA/V | 500 pA | 0.03% + 5.0 nA + 0.94 pA/V |
| 1 µA | 1100 V | 10 pA | 0.03% + 504.1 pA + 0.94 pA/V | 50 pA | 0.04% + 804.1 nA + 0.94 pA/V |
| 100 nA | 200 V | 1 pA | 0.06% + 104.1 pA + 0.94 pA/V | 2 pA | 0.06% + 104.1 pA + 0.94 pA/V |
| 10 nA | 200 V | 100 fA | 0.15% + 7.1 pA + 0.94 pA/V | 200 f A | 0.15% + 9.1 pA + 0.94 pA/V |
| 1 nA | 200 V | 10 fA | 0.15% + 4.4 pA + 0.94 pA/V | 20 f A | 0.15% + 6.1 pA + 0.94 pA/V |
| 100 pA | 200 V | 1 fA | 0.15% + 4.3 pA + 0.94 pA/V | ||
| Voltage range | Max. Current | Measure | Source | ||
| resolution | accuracy | resolution | accuracy | ||
| 1000 V | 20 mA | 10 mV | 0 .015% + 50 .2 mV | 50 mV | 0 .02% + 100 .2 mV |
| 200 V | 1 A | 1 mV | 0 .015% + 50 .0 mV | 5 mV | 0 .02% + 50 .1 mV |
| 20 V | 1 A | 100 µV | 0 .015% + 5 .0 mV | 500 µV | 0 .02% + 5 .1 mV |
| 2 V | 1 A | 10 µV | 0 .02 % + 374 .0 µV | 50 µV | 0 .02% + 680 .0 mV |
| 200 mV | 1 A | 1 µV | 0 .015% + 324 .0 µV | 5 µV | 0 .02% + 680 .0 mV |
| Capacitance | 10 kHz | 100 kHz | 1 MHz |
| 10 pF | 0 .50% | 0 .50% | 3 .00% |
| 100 pF | 0 .50% | 0 .50% | 2 .00% |
| 1 nF | 0 .50% | 0 .50% | 7 .00% |
| 10 nF | 0 .50% | 0 .50% | 5 .00% |
| 100 nF | 1 .00% | 1 .00% | 5 .00% |
